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アスペクト10を超える微細孔構造（レジスト）に対して、均質にニッケルめっきすることで微細金型を製作することができます。この金型を用いホットエンボス、射出成型、RIM（反応性モールド）といった微細樹脂型成型を行っています。 金型の微細構造のアスペクト比は最大20まで製作実績があります。また、照射条件をコントロールすることでテーパー付き金型を製作することもできます。 |
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微細金型例 |
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微細金型の均質性の確認 |
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大型放射光装置“Spring-8”から得られる12.0keVの高輝度単色X線を用いて製作した微細金型の柱のニッケル密度分布を測定しています。測定に使用したX線のビームサイズは0.5μm×1.8μm(FWHM)まで集光されており、密度バラツキは測定限界の6%以内であることを確認しています。また、電子ビームをサブミクロンサイズまで集光させてX線を発生させるサブミクロンX線顕微鏡を用い、製作した微細Ni構造体の均質性も確認しています。
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“SPring-8 User Experiment Report”, 2000A, No.5, p.379,2000
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