リソグラフィー技術

　当社は10年以上にわたるX線リソグラフィー技術開発の実績を有しており、独自のX線リソグラフィー装置（ステッパー）やX線マスク、高感度レジストを用いることで高スループットX線リソグラフィーを実現しました。

　独自に開発したX線リソグラフィー装置は、大面積リソグラフィーが可能でかつ自動で多数の基板を処理することができます。この結果、高感度レジストと組合わせることで 高スループットのX線リソグラフィーを実現しています。

　当社はLIGA用X線マスクを製作できる世界でも数少ないメーカーです。
　自社内で製作しているため、短納期かつ低価格で高性能X線マスクをご提供することができます。

　独自の高分子重合技術により、PMMAの高精度、高分解能、高アスペクト比パターンニング性を犠牲にすることなくレジストの大幅な高感度化を実現し、X線リソグラフィーの高スループット化を実現しています。