微細・高アスペクト比圧電セラミックス柱を樹脂に埋め込むことによって、従来技術では得られなかった短パルス化、広帯域等の特長をもつ複合圧電素子を実現しました。
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概要 |
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微細セラミックス複合圧電素子 |
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開発した複合圧電素子 |
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プロセス |
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(1)SR照射 |
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レジスト構造体 |
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(2)金型製作 |
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金型 |
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(3)モールド |
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樹脂型 |
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(4)セラミックス注入 |
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(5)焼成 |
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PZT柱構造体 |
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(6)含浸 |
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(7)研磨 |
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応用例 （超音波内視鏡） |
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超音波送受信感度曲線（従来圧電振動子との比較） |
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従来胃壁画像 |
開発した振動子の胃壁画 |
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北里大学東病院提供（オリンパス(株)製ＥｎｄｏＥｃｈｏパンフレットより） |
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開発の一部は、NEDOから（財）マイクロシンセンターへの委託研究成果を利用しています。
平成12年度（社）日本ファインセラミックス協会技術振興賞、第34回市村産業賞貢献賞を受賞しました。 |
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