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広報誌 SEI WORLD 2012年

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SEI WORLD 2012年 08月号(vol. 419)

発振波長530nm帯で100mW以上の光出力を有する純緑色半導体レーザーを開発

純緑色半導体レーザー発振の様子

  当社とソニー(株)は、発振波長530nm帯で100mW以上の光出力を有する純緑色半導体レーザーの開発に世界で初めて(※1)成功しました。

  現在、光の三原色(赤・緑・青)の光源として、赤色と青色の半導体レーザーは量産化されていますが、今後はレーザープロジェクターなどの映像表示デバイスの高性能化に向けて、高出力の緑色半導体レーザーの開発が期待されています。現在、緑色については、赤外光を光学素子により波長変換したレーザーが主に用いられていますが、光源が大型かつ高価であるという課題がありました。また、従来の窒化ガリウム系材料を用いた緑色レーザーは、発振波長が520nm以下で光出力も数十mW以下に限定されているため、充分な輝度が確保できませんでした。

  そこで、当社がこれまで開発してきた半極性窒化ガリウム基板と結晶成長・加工技術、ソニー(株)がブルーレイなどで培った窒化ガリウム系レーザー技術を生かして共同開発を進めてきました。両社で構造設計、結晶成長、加工、電極など半導体レーザーに関わる全てのプロセスに新規技術導入ならびに技術改良を加えた結果、発振波長530nm帯で100mW以上の光出力を有する純緑色半導体レーザーの開発に成功。従来の窒化ガリウム系緑色レーザーと比べて、約2倍(※2)の高輝度とNTSC比182%(CIE 1976)(※3)の広色域化を実現しました。

  今回、高出力の純緑色半導体レーザーを開発したことで、光の三原色(赤・緑・青)レーザー光源が揃うことになり、高輝度と広色域を実現するレーザープロジェクターや小型・軽量・低消費電力を生かした携帯型レーザープロジェクターなど、幅広い用途への活用が期待されます。

  当社とソニー(株)は、純緑色半導体レーザーのさらなる高出力化と高効率化、高品質化を目指し、引き続き開発を進めていきます。

※12012年6月21日発表時点
※2窒化ガリウム系材料を用いた波長520nm以下で光出力60mW以下の半導体レーザーと比較した場合
※3NTSC比は、今回開発した純緑色半導体レーザーと既存の赤色、青色半導体レーザーを組み合わせた場合

 

半導体技術研究所

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