| 1956年(昭和31) |
半導体研究スタート(Ge、Si、その他化合物半導体) |
| 1961年(昭和36) |
半導体研究室発足(InSb、GaAs) |
| 1968年(昭和43) |
HB法によるGaAs単結晶成長技術を確立 |
| 1969年(昭和44) |
InSb単結晶引き上げに成功
研究部電子材料グループ発足 |
| 1970年(昭和45) |
GaAsシーディング技術の開発に成功 |
| 1972年(昭和47) |
GaP単結晶・他結晶の生産技術を確立 |
| 1973年(昭和48) |
GaAsエピタキシャルウエハ、半絶縁性GaAs開発をスタート |
| 1974年(昭和49) |
InP単結晶引き上げ(LEC法)に成功 |
| 1975年(昭和50) |
無転位大型GaAs単結晶の開発で、科学技術長官賞受賞 |
| 1977年(昭和52) |
電子材料事業部内に半導体開発部発足
日軽化工よりGaAs VPEエピ技術を導入 |
| 1978年(昭和53) |
伊丹製作所内に最初の量産工場を竣工 |
| 1979年(昭和54) |
InP単結晶を量産化 |
| 1980年(昭和55) |
2インチLEC-GaAs単結晶の開発に成功
マイクロ波用GaAs VPEエピウエハの量産開始 |
| 1981年(昭和56) |
LEC-GaAs単結晶、半絶縁性InP単結晶の量産開始
半導体開発部が電子材料事業部より独立 |
| 1982年(昭和57) |
円形GaAs赤外用LPEウエハを開発
3インチLEC-GaAs単結晶の開発に成功 |
| 1983年(昭和58) |
HB法による1m長尺GaAs単結晶を開発 |
| 1984年(昭和59) |
半導体事業部発足
伊丹製作所内に第2の量産工場を竣工
IC用GaAs2インチ無転移結晶の開発に成功 |
| 1986年(昭和61) |
3インチ長尺GaAs単結晶を開発 |
| 1988年(昭和63) |
4インチLEC-GaAs単結晶の開発に成功
3インチInP単結晶の開発に成功 |
| 1989年(平成元) |
InGaAs VPEウエハの開発に成功
InPエッチドウエハの販売を開始 |
| 1990年(平成2) |
InP VCZ結晶の開発に成功
GaAs MBEエピウエハの量産を開始
GaAs SCウエハ、高精度ウエハの販売を開始 |
| 1992年(平成4) |
衛星放送用GaAs MBEエピウエハの量産を開始 |
| 1993年(平成5) |
InAsP赤外センサー用エピウェハの開発に成功
VB法によるGaAs単結晶の開発を開始 |
| 1994年(平成6) |
ISO9001認定取得
電子デバイス用InP MBEエピウエハの開発に成功 |
| 1995年(平成7) |
阪神淡路大震災に被災するが、短期間で復旧 |
| 1996年(平成8) |
半絶縁性4インチVB-GaAsウエハの量産を開始 |
| 1998年(平成10) |
光通信用InP OMVPEエピの量産を開始
半絶縁性6インチVB-GaAsウエハの開発に成功 |
| 1999年(平成11) |
半絶縁性6インチVB-GaAsウエハの量産を開始 |
| 2000年(平成12) |
2インチGaN基板の開発に成功
台湾SEIEM社設立 |
| 2001年(平成13) |
神戸にSSM社設立
米国SESMI社設立 |
| 2002年(平成14) |
低転位高品質2インチGaN基板の量産を開始
InP VB結晶の開発を開始 |
| 2003年(平成15) |
InP VB基板の量産を開始 |
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