n型基板

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GaAs基板

Standard Specifications

Notes

（＊1） VCZ：Vapor Pressure Controlled Czochralski
（＊2） EPD Guaranteed Area：Percentage of points within spec.
（＊3） High Precision OF（±0.02°）is available for 2"φ.
（＊4） EW：Etched Wafer
（＊5） LPD：Light Point Defects

Attached Data

- Standard	：	Resistivity・Mobility・Diameter・OF・IF・Thickness （min.～max.） EPD Map

- Option	：	Accuracy of Orientation・Flatness・Light Point Defects

カタログ一覧 (InP基板)

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